康冠光电铌酸锂电光调制器实验室流片工艺

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随着光纤通信技术的发展，人与人之间的交流的方式，人类的生活习惯发生着翻天覆地的变化，世界各地的距离也变得越来越小。这其中多半的功劳在于光电器件的发展，激光作为光纤通信的信息载体，光纤作为光信息的传输介质，而电光调制器实现了将信号加载到激光的功能，更是光电器件中最基础和最重要的。铌酸锂电光调制器具有频带宽、稳定性好、电光系数高、工艺成熟等优点，因此成为当下主流产品。

康冠光电是专业的光通信设备生产商，专业生产铌酸锂(LiNbO3)电光调制器，其产品线非常丰富，包括强度调制器和相位调制器及其配套驱动和偏压控制，电光带宽从低频到50Gbps/50GHz高速调制器均可提供，工作波长涵盖780nm-2000nm，并且可以接受产品定制！这么强大的铌酸锂电光调制器是怎么制作的呢？下面就介绍一下康冠光电铌酸锂电光调制实验室流片制作工艺吧！

01 LNOI波导制备工艺流程

02 铬膜磁控溅射-目前可以稳定实现适当厚铬膜制备

03 光刻

04 复杂弯曲结构波导制作

05 腐蚀工艺效果

06 优化刻蚀参数

07 波导刻蚀优化

08 制备的复杂弯曲波导

目前基于康冠光电实验室平台已可以实现LNOI光波导的溅射、光刻、腐蚀、刻蚀、抛光、测试等一系列必要工艺。该研究有望为中国光通信产业链的蓬勃发展和持续升级贡献一份力量。

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