据国家知识产权局公告,清华大学申请一项名为“基于亚波长人工微结构的背入射高速光电探测器“,公开号CN117855298A,申请日期为2024年1月。
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专利摘要显示,本发明涉及光电子设计技术领域,特别涉及一种基于亚波长人工微结构的背入射高速光电探测器,包括:由下至上依次形成的集成于衬底背面的偏振无关型超构透镜、磷化铟衬底层、N型外延层、形成在N型欧姆接触上的第一环形金属电极、本征吸收层、P型外延层、形成在P型接触上的第二环形金属电极、光栅氧化层和集成于衬底顶部的高对比亚波长光栅层。由此,解决了传统光电探测器响应度和带宽之间的矛盾。
本文源自:金融界